導(dǎo)讀：2016年10月9日，從成都高新區(qū)獲悉，家重點研發(fā)計劃重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)項目《超光滑表面無損檢測儀》正式啟動。家科技部高新技術(shù)研究發(fā)展中心、中工程物理研究院、四川省科技廳、成都市科技局、成都高新區(qū)科技局相關(guān)負責(zé)人以及光學(xué)行業(yè)相關(guān)專家近百人參加了啟動儀式。

據(jù)了解，《超光滑表面無損檢測儀》是家“十三五”重點研發(fā)計劃重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)項目，分別獲得家科技部2000萬、成都高新區(qū)200萬元資金支持，有企業(yè)牽頭，協(xié)同內(nèi)多家技術(shù)實力雄厚的大學(xué)、研究所和企業(yè)形成產(chǎn)、學(xué)、研、用相結(jié)合的項目團隊共同實施。超光滑表面無損檢測儀主要用于高精度非接觸測量，可以廣泛應(yīng)用于高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導(dǎo)體制造、半導(dǎo)體照明以及太陽能新能源電池等基片、彎曲度、表面質(zhì)量等關(guān)鍵參數(shù)的快速檢測，還可應(yīng)用于大型現(xiàn)代光學(xué)工程系統(tǒng)。據(jù)介紹，該項目將通過專項帶動，集成內(nèi)優(yōu)勢力量重點創(chuàng)新，解決高精度超光滑表面無損檢測的關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，實現(xiàn)高端超光滑表面無損檢測儀器產(chǎn)化，替代外同類產(chǎn)品，打破外公司的技術(shù)壟斷和價格壁壘。

成都高新區(qū)科技局相關(guān)負責(zé)人表示，獲得家重大科技創(chuàng)新項目立項支持且家撥款資金到位的成都高新區(qū)企業(yè)，可按照撥資金實際到位額的10%進行配套資助申請，同一項目申請金額高不超過200萬元，同一家企業(yè)同一年度申請該類資金額度高不超過200萬元。

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